簡介: 適用于太陽能電池生產(chǎn)制造設(shè)備，包括硅料酸洗、硅片脫膠、腐蝕制絨、擴(kuò)散前硅片清洗、去磷硅玻璃設(shè)備，以及硅片裝片機(jī)、插片機(jī)、檢測設(shè)備等。

應(yīng)用范圍：

1）主要用于單、多晶硅太陽能電池片生產(chǎn),擴(kuò)散前的絨面腐蝕和清洗；

2）工藝流程：

上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮 氣鼓泡+噴淋→下料→離心機(jī)甩干(離線)；

3）設(shè)備采用龍門式機(jī)械手方式移動(dòng)，其工藝時(shí)間可以自行調(diào)節(jié)，酸堿槽具有自動(dòng)補(bǔ)液裝置，可實(shí)現(xiàn)無間斷生產(chǎn)。能顯示溫度曲線、濃度變化曲線，及各個(gè)工位的工作狀態(tài)。具有設(shè)備報(bào)警說明，報(bào)警歷史查詢功能。對清洗用純水有電阻率監(jiān)測裝置，能存儲10個(gè)以上工藝方案；

4）標(biāo)準(zhǔn)工藝下產(chǎn)量：125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片，適用于投產(chǎn)厚 度為160±30～200±30微米的硅片，硅片產(chǎn)能不低于1200片/小時(shí)，設(shè)備開工率＞92﹪，碎片率≤3‰。